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    直驱电机四轴平台应用于PVD去膜机
    2022-04-27
    直驱电机四轴平台应用于PVD去膜机

    X轴和Y轴为平板直线电机，Z轴为伺服电机平台，第四轴为可360°旋转的力矩电机

    X轴、Y轴重复定位精度2um，X-Y垂直度0.01mm，Z-Y垂直度0.03mm，负载面-Y平行度0.03mm
    产品选型链接：
    /products/5/lmh/c-24/

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