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| XÖá (ºáÁºÖá) |
100-1000 |
25 |
0.5 |
0.5 |
6/400 |
5/400 |
±1.5 |
| Y1Öá (ÏÂÖá) |
100-1000 |
/ |
0.5 |
0.5 |
6/400 |
5/400 |
±1.5 |
| Y2Öá (ÏÂÖá) |
100-1000 |
/ |
0.5 |
0.5 |
6/400 |
5/400 |
±1.5 |
| ƽ̨ÐÔÄÜÖ¸±ê |
| ²ÎÊý |
XÖá (ÏÂÖá) |
YÖá (ºáÁº) |
| ÐÐ³Ì (mm) |
2700 |
2850 |
| ×î´óËÙ¶È(m/s) |
1 |
1 |
| ¼ÓËÙ¶È (g) |
0.4 |
0.4 |
| ÖØ¸´¾«¶È(μm) |
±0.75um |
±1.15um |
| ¶¨Î»¾«¶È (μm)²¹³¥ºó |
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| ˮƽֱÏß¶È (μm) |
7.7 |
7.53 |
| ´¹Ö±Ö±Ïß¶È (μm) |
7.07 |
6.96 |
| ¸ºÔØ (kg) |
100 |
140 |
| X-Y ´¹Ö±¶È (mm) |
0.01 |